Зырянов Сергей Михайлович
Описание курса:
Курс «Диагностика низкотемпературной плазмы» посвящен различным экспериментальным методам диагностики низкотемпературной плазмы, а также комплексным экспериментально-теоретическим методам измерения различных плазменных характеристик.
Физика плазмы в целом представляет большой фундаментальный интерес как с точки зрения понимания объемной кинетики заряженных частиц в самосогласованном электрическом поле, так и с точки зрения определения констант различных плазмохимических реакций. Также газовые разряды активно применяются в микроэлектроники, и только благодаря использованию плазмохимических реакторов характерный размер структур в микропроцессоре на данный момент составляет ~20 нм.
Целью курса является знакомство студентов с существующими методами диагностики плазмы и объяснение границ их применимости, как при фундаментальных, так и при прикладных исследованиях. Так как большинство из рассматриваемых методов диагностики плазмы активно используется (а в некоторых случаях непосредственно разработано) в лаборатории, сотрудником которой является автор курса, лекционные занятия дополняются демонстрациями измерений параметров плазмы в реальных плазменных реакторах.
План курса:
1. Основные понятия физики плазмы. Уравнение Больцмана. Законы сохранения.
2. Диффузия и дрейф частиц в плазме. Характерные плотности и энергии частиц в плазме. Параметры плазменного слоя.
3. Тлеющий разряд. ВАХ разряда. Кривая Пашена.
4. Высокочастотные емкостные и индукционные разряды. Двухчастотные разряды. Постоянное смещение на высокочастотном электроде.
5. Внешние измеряемые параметры газового разряда. Давление, проток газа, электрические измерения.
6. Зонд Ленгмюра. Измерение плотности плазмы и функции распределения электронов по энергиям. Высокочастотная компенсация зонда.
7. Hairpin-зонд. Уравнения двухпроводной линии. Диэлектрическая постоянная плазмы и ее связь с плотностью плазмы.
8. Ионный анализатор. Геометрические и электрические параметры сеточного анализатора энергии ионов. Угловое распределение ионов.
9. Измерение потока ионов на электрод методом модуляции высокочастотного смещения. Кинетика плазменного слоя.
10. Масс-спектрометрия нейтральных и заряженных частиц. Относительные и абсолютные измерения плотности тяжелых частиц в разряде.
11. Основы спектроскопии плазмы. Актинометрия. Определение границ применимости для абсолютных измерений.
12. Лазерная спектроскопия. LIF, TALIF, LISE, TALISE, REMPI.
13. Лазерная спектроскопия. IDLAS, ICLAS, CRDS.
14. Молекулярная спектроскопия излучения и поглощения. Определение населенности колебательно-возбужденных уровней.
15. Определение газовой температуры по вращательному молекулярному спектру излучения. Измерение пространственного распределения температуры.
16. «Виртуальные» датчики. Использование математического моделирования при диагностике плазмы.
